Bộ bơm chân không ốc vít Roots cho sản xuất bán dẫn

Bộ bơm chân không ốc vít Roots kết hợp ưu điểm của bơm Roots và bơm ốc vít, cung cấp giải pháp chân không sạch, hiệu quả và không dầu cho các ứng dụng công nghiệp và phòng thí nghiệm đòi hỏi khắt khe. Với thiết kế khe hở kín và không sử dụng dầu bôi trơn, các bơm này duy trì độ tinh khiết cao và hiệu suất xuất sắc trong suốt quá trình hoạt động.

Nguyên lý hoạt động của bộ bơm chân không ốc vít Roots

• Bơm chân không trục vít (giai đoạn tiền xử lý): Hoạt động như bơm tiền cấp, cung cấp lưu lượng bơm cao và áp suất xả thấp. Nén cơ học thông qua khe hở vít chính xác đảm bảo hoạt động hiệu quả, êm ái và ít rung động.
• Bơm chân không Roots (giai đoạn chính/giữa): Hai rotor quay đồng bộ chuyển khí thải từ buồng hút sang buồng xả. Thiết kế khe hở kín ngăn ngừa ô nhiễm dầu, duy trì môi trường chân không sạch.
• Hoạt động nối tiếp: Cả hai bơm hoạt động song song, với bơm vít nâng cao mức chân không và bơm Roots đảm bảo hiệu suất bơm ổn định và liên tục.

Ưu điểm về hiệu suất

1. Tiết kiệm năng lượng: Tỷ lệ tối ưu giữa tốc độ bơm và độ chân không giảm tiêu thụ điện năng, vượt trội so với các hệ thống chân không truyền thống về hiệu suất năng lượng.
2. Hiệu suất cao: Đạt hiệu suất bơm trên 90%, cung cấp mức chân không cao với tiêu thụ năng lượng thấp cho các quy trình đa dạng.
3. Bảo vệ an toàn: Hệ thống điều khiển tiên tiến với chức năng tự động khởi động/dừng, bảo vệ quá tải, quá dòng và ngắt nước đảm bảo hoạt động ổn định lâu dài.
4. Thiết kế nhỏ gọn: Cấu trúc xếp chồng dọc hoặc dạng thang giúp tiết kiệm diện tích, lý tưởng cho nhà máy và phòng thí nghiệm có không gian hạn chế.
5. Cấu hình linh hoạt: Tỷ lệ tốc độ bơm có thể điều chỉnh giữa các bơm (từ 1:2 đến 1:8) để phù hợp với các yêu cầu làm việc đa dạng.
6. Khả năng chống ăn mòn: Các bề mặt tràn được xử lý hoặc làm từ vật liệu chống ăn mòn, phù hợp để hút khí ăn mòn và hoạt động trong môi trường khắc nghiệt.

Lĩnh vực ứng dụng

• Ngành công nghiệp hóa chất: Chiết xuất dung môi hữu cơ bay hơi, khí và sử dụng trong các phản ứng chân không — được ứng dụng rộng rãi trong các quá trình hóa chất và dược phẩm.
• Sản xuất bán dẫn: Hỗ trợ các quá trình lắng đọng chân không, làm sạch và ăn mòn.
• Ngành thực phẩm: Cần thiết cho đóng gói thực phẩm, sấy khô và các quá trình sấy chân không.
• Ngành công nghiệp kim loại: Loại bỏ khí trong lò luyện kim và phòng thí nghiệm để ổn định quá trình nấu chảy.
• Phòng thí nghiệm và nghiên cứu khoa học: Phù hợp cho các thí nghiệm chân không và thu hồi khí trong môi trường khoa học.
• Ngành điện tử: Được sử dụng trong sản xuất mạch tích hợp, phủ chân không trên màn hình và các quy trình sản xuất điện tử khác.